Vysoký stupeň základní přesnosti stroje ZEISS PRISMO ultra je dosažen řadou moderních funkcí a korekcí. Patří mezi ně tepelná kompenzace ohybu, aktivní pneumatický tlumicí systém, vylepšená vzduchová ložiska a pravítka ZERODUR® s rozlišením 20 nm – pro pozoruhodnou přesnost a stabilitu. Další vylepšení CAA, jako je optimalizovaná kalibrace tenzoru, kompenzace ohybu kalibrační koule a korekce pro měření s otočným stolem, zajišťují maximální přesnost i při vysokých rychlostech a podporují vynikající stabilitu stroje tím, že jej chrání před rušivými faktory.