Špičkový FIB-SEM

ZEISS Crossbeam

Zaměřen na třetí dimenzi

Kombinace rastrovacího elektronového mikroskopu (SEM) a fokusovaného iontového paprsku (FIB) umožňuje cílené řezání do materiálu v nejmenším měřítku (nanometrový rozsah) a přímo zobrazovat strukturu materiálu pod povrchem. Mezi typické aplikace patří přesná lokalizace a chemická analýza (EDS) lokálních defektů.

FIB-SEM analýzy s vynikajícím 3D rozlišením
Systém s iontovým a s elektronovým paprskem
Nástroj pro přípravu vzorků
Rozšířené použití díky volitelnému femtosekundovému laseru
EDS, EBSD, WDS, SIMS a další na vyžádání

ZEISS Crossbeam pro průmysl

Zažijte novou úroveň testování vašich vzorků.

Připravte si tenké lamely pro jejich analýzu v TEM (transmisní elektronová mikroskopie) nebo STEM (rastrovací transmisní elektronová mikroskopie). ZEISS Crossbeam nabízí kompletní řešení pro přípravu TEM lamel i v dávkách.

Nízkonapěťový výkon kolony ion-sculptor FIB podporuje vysoce kvalitní lamely a zabraňuje amorfizaci jemných vzorků. Pro zahájení práce použijte jednoduchý pracovní postup a počkejte na automatické spuštění. Využijte výhod softwaru pro detekci koncových bodů, který poskytuje přesné informace o tloušťce vaší lamely.

Volitelný femtosekundový laser se používá pro odebrání materiálu a lepší přístup k hlubším strukturám, stejně jako pro přípravu velkých vzorků.

Oblasti použití

Lokální průřezy, např. v místech defektů (defekty růstu tenkých vrstev, koroze, zachycené částice atd.)
Příprava lamel pomocí TEM
Vysokorozlišovací průřezová zkoumání s transmisní spektroskopií (STEM)
3D tomografie mikrostruktury nebo lokálních defektů
Zpracování struktur cíleným odstraňováním materiálu

Zjistěte více v našich videích o mikroskopu ZEISS Crossbeam

Rychlá 3D analýza poruch. Řešení korelačního pracovního postupu ZEISS.
ZEISS Crossbeam Laser: Optimalizujte a automatizujte procesy s LaserFIB
Zjistěte více o pracovním postupu analýzy vzorku v objemu.

Blokovaný obsah třetí strany

Video přehrávač je zablokován kvůli vaším předvolbám souborů cookie. Pro změnu nastavení a přehrátí videozáznamu klikněte na níže uvedené tlačítko a vyslovte svůj souhlas s použitím „funkčních“ sledovacích technologií.

Podívejte se na video o našem řešení korelačního pracovního postupu. Zjistěte, jak snadno lze s řešeními ZEISS používat data napříč technologiemi a jak dosáhnout spolehlivých a efektivních výsledků.

Rychlá 3D analýza poruch. Řešení korelačního pracovního postupu ZEISS.
Blokovaný obsah třetí strany

Video přehrávač je zablokován kvůli vaším předvolbám souborů cookie. Pro změnu nastavení a přehrátí videozáznamu klikněte na níže uvedené tlačítko a vyslovte svůj souhlas s použitím „funkčních“ sledovacích technologií.

1. Rychlý přístup k hluboko uloženým strukturám 2. Provádění laserových prací ve vyhrazené integrované komoře pro zajištění čistoty hlavní komory a detektorů FIB-SEM 3. Automatizace laserového zpracování, leštění, čištění a transportu vzorků do komory FIB 4. Příprava více vzorků, např. průřezů, lamel TEM, sloupkových polí Efektivní práce s využitím předinstalovaných modelů pro různé materiály

ZEISS Crossbeam Laser: Optimalizujte a automatizujte procesy s LaserFIB
Blokovaný obsah třetí strany

Video přehrávač je zablokován kvůli vaším předvolbám souborů cookie. Pro změnu nastavení a přehrátí videozáznamu klikněte na níže uvedené tlačítko a vyslovte svůj souhlas s použitím „funkčních“ sledovacích technologií.

Seznamte se s pracovním postupem analýzy vzorku v objemu, což je nový měřicí systém schopný řešit materiálové problémy v různých měřítkách v jednom korelačním ekosystému. Tento pracovní postup umožňuje uživatelům porozumět vlastnostem materiálů spojeným s každým měřítkem.

Zjistěte více o pracovním postupu analýzy vzorku v objemu

Analýza poruch FIB-SEM na dílech karoserie

01 Překrytí laserově frézované spáry na snímku oblasti zájmu ze světelného mikroskopu.
02 Laserem frézovaný průřez povrchovou vadou, podezřelý detail je viditelný pod vrstvami barvy; SEM, SESI, 50x.

Nalezení hlavní příčiny izolovaných a malých vad na velkých vzorcích pro efektivní analýzu poruch vyžaduje pohodlný pracovní postup pro lokalizaci, dokumentaci, přemístění, přípravu a zkoumání oblastí zájmu.
03 Podezřelý detail v základním materiálu pod barvou, laserem frézovaný povrch; SEM, SESI, 450x.

Rastrovací elektronové mikroskopy s fokusovaným iontovým paprskem (FIB-SEM) překonávají omezení konvenční materiálografické přípravy vzorků. Protože však elektronové mikroskopy obvykle mají omezené zorné pole, je někdy snadnější provést lokalizaci na světelném mikroskopu. Z tohoto důvodu uživatelé potřebují systém, který jim umožňuje lokalizovat oblast obrazu ve světelném mikroskopu a poté ji načíst ve FIB-SEM.
04 Snímek po leštění FIB, dobrá povrchová úprava s jasně rozlišitelnými znaky; SEM, InLens, 450x.

Přesně to poskytuje softwarové řešení ZEISS ZEN Connect v kombinaci s datovým úložištěm ZEISS ZEN. Nový femtosekundový laser z produktové řady ZEISS Crossbeam nabízí také lokálně specifickou přípravu i na velkých plochách. Vytvořením průřezu femtosekundovým laserem, leštěním FIB a následnou EDS analýzou byly jako příčina povrchových vad identifikovány zbytky uhlíkových vláken.
05 EDS mapování prvků oblasti leštěné FIB; žlutá: intenzita C, modrá: intenzita Al, růžová: intenzita Ti, červená: intenzita Si.